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震动防护、冲击性安全防护
、分子泵震动很小,可立即接于被抽系统软件。针对高仪器仪表的运用(如透射电镜),---应用隔振器,便于较大 很有可能的降低震动。
、冲击性安全防护:高速运转、空隙不大、软性支撑点
阻尼振动(预抽泵、前面泵、机械设备姿势等)
汽体震动(供气量突然变化、气体压强突然变化)
出现意外震动(落入脏东西、撞击等)
留意:沒有对泵开展必需安全防护,非常容易导致分子泵比较---的毁坏、乃至碎泵。agilent tv301分子泵维修中心
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空气载、热汽体、突然变化气载
a造成难题:溫度上升;声响片形变;电机转子移位;润化无效5℃标准;滚动轴承无效
b.对策:增加水冷散热;提升制冷设备;减少换机油時间。agilent tv301分子泵维修中心
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有防护网保护,为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内?
原因:防护网,前级管道
解决方法:优化系统设计
真空度---的情况下,agilent tv301分子泵维修中心,分子泵油为何会返到前级管道?
原因:油池或密封---
解决方法:检查油池
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轴承装配---
处理方法:按要求检查轴承装配情况,消除不合要求因素;
冷却水断路
处理方法:检查、修理;
轴承磨损或松动
处理方法:修理轴承或报废。
若松协,复紧有关螺栓;泵轴弯曲
处理方法:矫正泵轴;
甩油环变形,甩油环不能转动,带不上油
处理方法:更新甩油环;
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1912年,德---w.gaede发明了上台分子泵,它的转子直径为50mm,转子上切有8个尺寸不同的槽,转速为12 000r/min,抽速约为1.5l/s。这种泵的工作原理与现代分子泵的工作原理一致,但由于故障多很快被淘汰,未能普及。
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1.分析(质谱分析、电子显微镜等)
2.半导体(电子组件、集成电路、柔性太阳能电池等)
3.光学/玻璃(热保护,增透、反射、光学滤光膜)
4.镀膜(表面保护,装饰涂料,显示器,屏幕)
5.真空冶金(真空炉、真空钎焊、真空烧结、真空合金、)
6.泄漏检测(真空系统、车辆的油箱,安全气囊
7.研究实验(医学成像、核粒子物理,核聚变研究,激光应用和许多更多)
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