广州帕纳光电科技有限公司----agilent tv301分子泵销售厂家;
分子泵在半导体机械设备中的运用
在半导体材料生产加工加工工艺中,分子泵广泛运用于光刻技术、塑料薄膜堆积机器设备、离子注入机器设备、离子注入机等主要设备。agilent tv301分子泵销售厂家
广州帕纳光电科技有限公司----agilent tv301分子泵销售厂家;
光刻技术是生产制造规模性集成电路芯片的关键机器设备,生产制造和维护保养必须高宽比的电子光学和电子工业基本,全仅有数生产厂家把握,因而光刻机价格价格昂贵。光刻技术光刻技术全过程务必在高真空中完成,缘故是极紫外线很娇气,在空气中非常容易耗损。另外,在光刻技术全过程中,机器设备的姿势时间误差以皮秒激光计,这对磁悬浮分子泵的震动值规定---。(注:皮秒激光=兆分之一秒)agilent tv301分子泵销售厂家
广州帕纳光电科技有限公司----agilent tv301分子泵销售厂家;
泵排液后中断吸入管路漏气
处理方法:检查吸入侧管道连接处及填料函密封情况;
灌泵时吸入侧气体未排完
处理方法:要求重新灌泵;
吸入侧突然被异物堵住
处理方法:停泵处理异物;
吸入大量气体
处理方法:检查吸入口有否旋涡,淹没---是否太浅。
广州帕纳光电科技有限公司----agilent tv301分子泵销售厂家;
1.隔膜泵的---真空---满足高真空泵的前级耐压需求 ,用agilent tv301分子泵销售厂家时,真空达0.3mbar;
2.即使真空度接近---真空时,仍有很大的抽速;;
3.低能量消耗;
4低的反倒吸漏率,agilent tv301分子泵销售厂家,在断电时不会放气;
5.高稳定性,为持续操作而设计(24h/7d);
6.对冷凝液有---的耐受性;
7.和分子泵相比,---的---真空稳定性和维护周期;
8.在真空条件下仍可稳定启动;
9.尺寸小、重量轻、振动低;
广州帕纳光电科技有限公司----agilent tv301分子泵销售厂家;
安装方向:油绳润滑:竖直、水平;
油润滑:竖直方向±5°范围内;
脂润滑:任意角度
油池安装注意事项 、拆油
、油量控制
、油池卫生,防颗粒
、对好、对称上紧螺钉,防止有漏
广州帕纳光电科技有限公司----agilent tv301分子泵销售厂家;
发现故障要及时排除,切忌让机组“带病”工作。比如发现水泵轴填料磨损---时,要及时增加填料,否则就会使水泵轴填料漏气。水泵轴填料漏气不但使机组能耗过大,而且会出现气蚀现象,加快叶轮的损坏,直接影响水泵的使用寿命。再比如,发现水泵剧烈振动,应立即停机检查,否则若是水泵弯曲变形很有可能发生安全事故。
深圳agilent tv301分子泵销售厂家-广州帕纳由广州帕纳光电科技有限公司提供。广州帕纳光电科技有限公司(www.pannavac.com)是从事“分子泵,真空泵,真空规,ae电源,真空油泵,真空系统”的企业,公司秉承“诚信经营,用心服务”的理念,为您提供高的产品和服务。欢迎来电咨询!联系人:冯超林。
联系我们时请一定说明是在100招商网上看到的此信息,谢谢!
本文链接:https://tztz310760.zhaoshang100.com/zhaoshang/210318255.html
关键词: