深圳agilent tv301分子泵销售厂家-广州帕纳

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    2020-9-9

冯超林
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分子泵在半导体机械设备中的运用

在半导体材料生产加工加工工艺中,分子泵广泛运用于光刻技术、塑料薄膜堆积机器设备、离子注入机器设备、离子注入机等主要设备。agilent tv301分子泵销售厂家


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光刻技术是生产制造规模性集成电路芯片的关键机器设备,生产制造和维护保养必须高宽比的电子光学和电子工业基本,全仅有数生产厂家把握,因而光刻机价格价格昂贵。光刻技术光刻技术全过程务必在高真空中完成,缘故是极紫外线很娇气,在空气中非常容易耗损。另外,在光刻技术全过程中,机器设备的姿势时间误差以皮秒激光计,这对磁悬浮分子泵的震动值规定---。(注:皮秒激光=兆分之一秒)agilent tv301分子泵销售厂家




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泵排液后中断吸入管路漏气

处理方法:检查吸入侧管道连接处及填料函密封情况;

灌泵时吸入侧气体未排完

处理方法:要求重新灌泵;

吸入侧突然被异物堵住

处理方法:停泵处理异物;

吸入大量气体

处理方法:检查吸入口有否旋涡,淹没---是否太浅。


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1.隔膜泵的---真空---满足高真空泵的前级耐压需求 ,用agilent tv301分子泵销售厂家时,真空达0.3mbar;

2.即使真空度接近---真空时,仍有很大的抽速;;

3.低能量消耗;

4低的反倒吸漏率,agilent tv301分子泵销售厂家,在断电时不会放气;

5.高稳定性,为持续操作而设计(24h/7d);

6.对冷凝液有---的耐受性;

7.和分子泵相比,---的---真空稳定性和维护周期;

8.在真空条件下仍可稳定启动;

9.尺寸小、重量轻、振动低;





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安装方向:油绳润滑:竖直、水平;

   油润滑:竖直方向±5°范围内;

   脂润滑:任意角度

油池安装注意事项  、拆油

  、油量控制

  、油池卫生,防颗粒

  、对好、对称上紧螺钉,防止有漏


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发现故障要及时排除,切忌让机组“带病”工作。比如发现水泵轴填料磨损---时,要及时增加填料,否则就会使水泵轴填料漏气。水泵轴填料漏气不但使机组能耗过大,而且会出现气蚀现象,加快叶轮的损坏,直接影响水泵的使用寿命。再比如,发现水泵剧烈振动,应立即停机检查,否则若是水泵弯曲变形很有可能发生安全事故。




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