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分子泵是不是对制冷有明确规定?如风冷式必须外部溫度多少钱?如水冷散热则对水有什么实际规定?如未做到规定会出---何---影响?
答:留意温度和出水量,制冷欠佳会造成 无端关机、碎泵、油发黑等。agilent tv301
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分子泵开关电源存有接地装置、屏蔽掉等难题,应怎样做才算是方法?
答:开关电源自身有电线接头,只必须---市网有优良接地装置就可以了;屏蔽掉关键就是指对磁场和强辐射源的屏蔽掉。agilent tv301
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分子泵在运行全过程中,出------率从一切正常降低至一定---率后又修复到一切正常,以后又降低至一定---率,再修复到一切正常,反复,拆换开关电源后状况仍这般,我想问一下该状况怎样表述?
缘故:负荷很大,系统软件真空值不足。
解决方案:查验系统软件。agilent tv301
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分子泵滚动轴承怎么会损坏?
缘故:
欠缺维护保养
制冷欠佳造成 超温
沒有立即换机油
抽除的汽体中带有很多
解决方案:
立即维护保养
查验制冷系统
立即换机油
防护。agilent tv301
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离子注入机器设备
离子注入是用有机化学或物理方法有选择从硅单晶表层除去不用原材料的全过程。离子注入的基础总体目标是在点胶的硅单晶上恰当地拷贝掩膜图型。智能化的干法刻蚀机器设备包含繁杂的机械设备、电气设备和真空设备,另外装有自动化技术的离子注入终点站检验和---设备。离子注入运用工作状况繁杂,清理能力差,充进高纯气体类型多种多样,agilent tv301,因而必须---解决的干泵和磁悬浮分子泵。agilent tv301
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离子注入机器设备
离子注入机器设备:离子注入就是指在真空下,当电子束射向固态原材料时,遭受固态原材料的抵御而速率渐渐地降低出来,并后滞留在固态原材料中的状况。离子注入是半导体材料表层周边地区开展夹杂的关键技术性,其目地是更改半导体材料的载流子浓度值和导电性种类。离子注入机是集成电路芯片生产制造工艺流程中的主要设备,必须高清理的真空,以---正离子夹杂浓度值和使用量的性。agilent tv301
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