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    2020-9-11

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分子泵在半导体机械设备中的运用

在半导体材料生产加工加工工艺中,分子泵广泛运用于光刻技术、塑料薄膜堆积机器设备、离子注入机器设备、离子注入机等主要设备。安捷伦 tv301分子泵维修联系方式


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光刻技术是生产制造规模性集成电路芯片的关键机器设备,生产制造和维护保养必须高宽比的电子光学和电子工业基本,全仅有数生产厂家把握,因而光刻机价格价格昂贵。光刻技术光刻技术全过程务必在高真空中完成,缘故是极紫外线很娇气,在空气中非常容易耗损。另外,在光刻技术全过程中,机器设备的姿势时间误差以皮秒激光计,这对磁悬浮分子泵的震动值规定---。(注:皮秒激光=兆分之一秒)安捷伦 tv301分子泵维修联系方式




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电磁场屏蔽掉出---的难题

转动的电机转子在电磁场中造成涡电流,将使电机转子发烫,将造成以下难题:

、电机转子与电机定子空隙愈来愈小,导致残片;

、电机转子升温过大导致带磁转子去磁;

、因为发烫会变弱铝原材料的抗压强度,导致碎泵;

、电机转子发烫,更改电机转子和轴的相对位置,导致碎泵。

分子泵在电磁场中运行时,轴向和径向磁感应强度均不可超过30gs。正常情况下,超过30gs应应用吸磁原材料屏蔽掉。安捷伦 tv301分子泵维修联系方式

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分子泵起动的标准:

、起动标准:联接准确无误、无漏、制冷、润化、真空值

、开机时间:

另外起动——小系统软件,防前面油阀上返。

---时间起动——系统软件容量过大,安捷伦 tv301分子泵维修联系方式,先起动前面泵,至系统软件气体压强p=200pa时,起动分子泵。安捷伦 tv301分子泵维修联系方式


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分子泵启动的条件:

  、启动条件:连接无误、无漏、冷却、润滑、真空度

  、启动时间:

  同时启动——小系统,防前级泵油上返。

  ---启动——系统容积过大,先启动前级泵,至系统压强p=200pa时,启动分子泵。


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传动胶带不用时,应把胶带拆下,用温水清洗擦干后保存在没有阳光直接照射的地方,也不要存放在有油污、腐蚀物及烟雾的地方。无论在何种情况下,都不要使胶带沾上机油、柴油或等油类物质,不要对胶带涂松香和其他粘性的物质。胶带在使用前,须清除胶带接触面的。

把所有螺钉、螺栓用钢丝刷刷洗干净,并涂上机油或浸在柴油中保存。





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