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离子注入机器设备
离子注入是用有机化学或物理方法有选择从硅单晶表层除去不用原材料的全过程。离子注入的基础总体目标是在点胶的硅单晶上恰当地拷贝掩膜图型。智能化的干法刻蚀机器设备包含繁杂的机械设备、电气设备和真空设备,另外装有自动化技术的离子注入终点站检验和---设备。离子注入运用工作状况繁杂,清理能力差,充进高纯气体类型多种多样,因而必须---解决的干泵和磁悬浮分子泵。varian tv301分子泵维修中心
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离子注入机器设备
离子注入机器设备:离子注入就是指在真空下,当电子束射向固态原材料时,遭受固态原材料的抵御而速率渐渐地降低出来,并后滞留在固态原材料中的状况。离子注入是半导体材料表层周边地区开展夹杂的关键技术性,其目地是更改半导体材料的载流子浓度值和导电性种类。离子注入机是集成电路芯片生产制造工艺流程中的主要设备,必须高清理的真空,varian tv301分子泵维修中心,以---正离子夹杂浓度值和使用量的性。varian tv301分子泵维修中心
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分子泵是不是对制冷有明确规定?如风冷式必须外部溫度多少钱?如水冷散热则对水有什么实际规定?如未做到规定会出---何---影响?
答:留意温度和出水量,制冷欠佳会造成 无端关机、碎泵、油发黑等。varian tv301分子泵维修中心
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分子泵开关电源存有接地装置、屏蔽掉等难题,应怎样做才算是方法?
答:开关电源自身有电线接头,只必须---市网有优良接地装置就可以了;屏蔽掉关键就是指对磁场和强辐射源的屏蔽掉。varian tv301分子泵维修中心
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机械密封检修中的几个误区
弹簧压缩量越大密封效果越好。其实不然,弹簧压缩量过大,可导致摩擦副急剧磨损,瞬间烧损;过度的压缩使弹簧失去调节动环端面的能力,导致密封失效。
动环密封圈越紧越好。其实动环密封圈过紧有害无益。一是加剧密封圈与轴套间的磨损,过漏;二是增大了动环轴向调整、移动的阻力,在工况变化频繁时无法适时进行调整;三是弹簧过度疲劳易损坏;四是使动环密封圈变形,影响密封效果。
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分子泵是否对冷却有明确要求?如风冷需要外界温度是多少?如水冷则对水有何具体要求?如未达到要求会出现何后果?
答:注意水温和水流量,冷却---会导致无故停机、碎泵、油变黑等。
分子泵电源存在接地、屏蔽等问题,应如何做才是方式?
答:电源本身有接地线,只需要---市网有---接地就可以了;屏蔽主要是指对强磁场和强辐射的屏蔽。
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