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离子注入机器设备

离子注入是用有机化学或物理方法有选择从硅单晶表层除去不用原材料的全过程。离子注入的基础总体目标是在点胶的硅单晶上恰当地拷贝掩膜图型。智能化的干法刻蚀机器设备包含繁杂的机械设备、电气设备和真空设备，另外装有自动化技术的离子注入终点站检验和---设备。离子注入运用工作状况繁杂，清理能力差，充进高纯气体类型多种多样，因而必须---解决的干泵和磁悬浮分子泵。agilent tv301公司

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离子注入机器设备

离子注入机器设备：离子注入就是指在真空下，当电子束射向固态原材料时，遭受固态原材料的抵御而速率渐渐地降低出来，并后滞留在固态原材料中的状况。离子注入是半导体材料表层周边地区开展夹杂的关键技术性，其目地是更改半导体材料的载流子浓度值和导电性种类。离子注入机是集成电路芯片生产制造工艺流程中的主要设备，agilent tv301公司，必须高清理的真空，以---正离子夹杂浓度值和使用量的性。agilent tv301公司

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分子泵是一种高速运行的机械泵，因此对平衡的要求---，对固体不干净的东西十分比较敏感，一般要在分子泵的通道安装金属复合材料过滤网。分子泵工作中整个过程中，倘若气体压强突然恶化，则有可能损坏叶片。agilent tv301公司

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基础的分子泵运用滚柱轴承来---叶片的高速运行。新型的分子泵采用磁悬浮构造，促进叶片传动比不断提高的此外，更使分子泵适合---真空技术，也提升了分子泵的使用寿命。agilent tv301公司