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分子泵在半导体机械设备中的运用

在半导体材料生产加工加工工艺中，分子泵广泛运用于光刻技术、塑料薄膜堆积机器设备、离子注入机器设备、离子注入机等主要设备。agilent tv301分子泵维修公司

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光刻技术是生产制造规模性集成电路芯片的关键机器设备，agilent tv301分子泵维修公司，生产制造和维护保养必须高宽比的电子光学和电子工业基本，全仅有数生产厂家把握，因而光刻机价格价格昂贵。光刻技术光刻技术全过程务必在高真空中完成，缘故是极紫外线很娇气，在空气中非常容易耗损。另外，在光刻技术全过程中，机器设备的姿势时间误差以皮秒激光计，这对磁悬浮分子泵的震动值规定---。（注：皮秒激光=兆分之一秒）agilent tv301分子泵维修公司

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轴封---填料压得太紧或磨擦

处理方法：放松填料，检查水封管；

水封圈与水封管错位

处理方法：重新检查对准；

冲洗、冷却---

处理方法：检查冲洗冷却循环管；

机械密封有故障

处理方法：检查机械密封。

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正常使用下，为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形

　　原因：过热，负载大

　　解决措施：检查冷却系，检查系统

分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体，如m5的顶丝等，请问是否对分子泵的使用有影响？应如何解决？

　　原因：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。

　　解决方式：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。