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分子泵在半导体机械设备中的运用
在半导体材料生产加工加工工艺中,分子泵广泛运用于光刻技术、塑料薄膜堆积机器设备、离子注入机器设备、离子注入机等主要设备。varian分子泵维修
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光刻技术是生产制造规模性集成电路芯片的关键机器设备,varian分子泵修理中心,生产制造和维护保养必须高宽比的电子光学和电子工业基本,全仅有数生产厂家把握,因而光刻机价格价格昂贵。光刻技术光刻技术全过程务必在高真空中完成,缘故是极紫外线很娇气,江门varian分子泵维修,在空气中非常容易耗损。另外,在光刻技术全过程中,机器设备的姿势时间误差以皮秒激光计,这对磁悬浮分子泵的震动值规定---。(注:皮秒激光=兆分之一秒)varian分子泵维修
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进出口贸易法兰盘、冷却循环水安裝
、泵通道:对正、对称性扭紧
、泵出入口:避免 移位
、冷却循环水:无渗水;通道压力0.2mpa;温度20±5℃;水体回应无沉淀
留意:
工作温度:风冷式需低于32℃;水冷散热能致40℃
通道气体压强:强制性风冷式<0.1pa;当然风冷式<0.01pa。varian分子泵维修
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电缆线安裝常见问题
、对正槽孔---
、用螺帽扭紧,varian分子泵维修中心,边插边拧
、查验及时。varian分子泵维修
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这种分子泵的维护可具体分为:1)牵引分子泵气体分子与高速运动的转子碰撞以获得动量,varian分子泵维修厂家,并被驱动到泵出口。 2)涡轮分子泵通过与高速旋转的动叶片和固定的固定叶片配合实现抽气。 这样的泵通常以分子流动状态运行。 3)复合分子泵它是由两个涡轮泵和牵引泵串联而成的复合分子真空泵。
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涡轮分子泵也是一种机械式真空泵,通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的,在分子流区域内对被抽气体产生---的压缩比,从而获得所需要的真空性能。涡轮分子泵---真空比扩散泵高,可达10^-8pa。正常工作时需要一定的前级真空度,其真空度高低视泵不同略有差异,一般在1-200pa之间,可采用机械泵作为前级泵,高真空机组是由分子泵和机械泵组成的。由于涡轮分子泵的转速高,通常用中频电机带动,中频电源的频率在300-400hz之间。涡轮分子泵一般采用水冷方式。
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