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牵引分子泵的优点是启动时间短,在分子流态下有---的压缩比,agilent tv301联系方式,能抽除各种气体和蒸气,---适于抽除较重的气体。但由于牵引分子泵抽速小,密封间隙太小,工作---性较差,易出机械故障,而且制造困难,实际上很少应用。后来对牵引分子泵进行了改进,出现了涡轮分子泵。
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当分子泵出现故障无法使用时,应暂停生产,并在手动充满空气后更换备用分子泵;
当分子泵未启动时,检查前级泵和电磁阀是否正常工作;
当分子泵发生故障时,必须根据故障提示进行处理。
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分子泵是一种高速运行的机械泵,因此对平衡的要求---,对固体不干净的东西十分比较敏感,一般要在分子泵的通道安装金属复合材料过滤网。分子泵工作中整个过程中,倘若气体压强突然恶化,则有可能损坏叶片。agilent tv301联系方式
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基础的分子泵运用滚柱轴承来---叶片的高速运行。新型的分子泵采用磁悬浮构造,促进叶片传动比不断提高的此外,更使分子泵适合---真空技术,也提升了分子泵的使用寿命。agilent tv301联系方式
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涡轮分子泵的转子叶片具有特定的形状,在它以20000~30000r/min的高速旋转的同时,叶片将动量传给气体分子。叶片高速旋转,其周边的线速度一般200~300m/s,相当于空气分子平均速率的一半。为了获得高真空,涡轮分子泵中装有多级。上级叶片输送过来的气体分子又会收到下级叶片的作用继续被压缩到更下级。因此,涡轮分子泵的的一个特点是对一般气体的抽出---有效。例如对于氮气,其压缩比可以达到109 但是涡轮分子泵抽除分子较小的气体能力较差,例如氢气,其压缩比仅有103 。
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新设计了独立和一体式控制器,还开发了全新的智能控制软件。新的控制软件使用智能算法根据气体负载的变化和实时温度,自动调整泵的功率,并且为三种典型气体分别做了专有的控制曲线。控制器新增加的主动刹车功能可在不破空的情况下快速停机,节省工艺时间并尽可能的缩短分子泵在共振区停留的时间,延长了轴承寿命。
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