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广州帕纳光电科技有限公司----分子泵是一种机械泵，它运用高速运行的发电机转子将角动量传输到气体分子式以获得方向速度，从而将其变小并控制器到上一级的排气口。磁悬浮分子泵维修；

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维修保养分子泵的操作过程要求：

1.分子泵的气体控制电路插孔的相连接法兰片的螺钉应朝上，以防止松弛导致的汽体泄漏；

2.分子泵不能在空气中打开，尽量在---10pa时打开。打开相对性的高压阀以启动分子泵；

3.当m2（架构2）或m7的真空泵值从始至终没有立即时，请检查旋片泵的汽车继电器是否一切正常工作上；

4.打开分子泵之前，磁悬浮分子泵维修，尽量先打开制冷循环系统进水阀。分子泵的抽滤离心叶轮停止后，尽量关闭制冷循环系统进水阀；

5.每一次待机后，尽量清除每一个分子泵的安全通道，以保持其清除，以避免不---的损坏；

6.当出现---信息“ef”时，检查制冷冷却循环水安全出口是否顺畅，而且用重---进行检查。在再一次打开分子泵之前，请---水路顺畅。当出现其他报警设备时，严禁再一次启动分子泵进行后工艺处理。

7.当分子泵出现常见问题无法运用时，应中断生产加工，并在手拉式铺满汽体后拆卸预埋分子泵；

8.当分子泵未起动，检查前边泵和汽车继电器是否一切正常工作上；

9.当分子泵造成常见问题时，尽量根据常见问题提示进行处理。

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