中山varian tv301分子泵维修-广州帕纳光电

广州帕纳光电科技有限公司----varian tv301分子泵维修；

涡轮分子泵的转子叶片具有特定的形状，在它以20000~30000r/min的高速旋转的同时，叶片将动量传给气体分子。叶片高速旋转，其周边的线速度一般200~300m/s，相当于空气分子平均速率的一半。为了获得高真空，涡轮分子泵中装有多级。上级叶片输送过来的气体分子又会收到下级叶片的作用继续被压缩到更下级。因此，涡轮分子泵的的一个特点是对一般气体的抽出---有效。例如对于氮气，其压缩比可以达到109 但是涡轮分子泵抽除分子较小的气体能力较差，例如氢气，其压缩比仅有103 。

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新设计了独立和一体式控制器，还开发了全新的智能控制软件。新的控制软件使用智能算法根据气体负载的变化和实时温度，自动调整泵的功率，并且为三种典型气体分别做了专有的控制曲线。控制器新增加的主动刹车功能可在不破空的情况下快速停机，节省工艺时间并尽可能的缩短分子泵在共振区停留的时间，延长了轴承寿命。

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---真空能满足分子泵的前级耐压需求，且干式无油不会影响真空背景环境，无需换油，维护成本低。无油隔膜前级泵，适配于多种分子泵， 隔膜泵更是能实现马达转速自动优化，不仅干式无油无污染，噪音低，而且节能省耗，维护成本低。同时，varian tv301分子泵维修无油隔膜泵也适用于所有粗真空应用，尤其是在耐化学腐蚀方面性能---，表现优异！

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泵不排液，灌泵不足（或泵内气体未排完）处理方法：重新灌泵；

泵转向不对

处理方法：检查旋转方向；

泵转速太低

处理方法：检查转速，提高转速；

滤网堵塞，底阀不灵

处理方法：检查滤网，消除杂物；

吸上高度太高，或吸液槽出现真空

处理方法：减低吸上高度；检查吸液槽压力。