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离子注入机器设备
离子注入是用有机化学或物理方法有选择从硅单晶表层除去不用原材料的全过程。离子注入的基础总体目标是在点胶的硅单晶上恰当地拷贝掩膜图型。智能化的干法刻蚀机器设备包含繁杂的机械设备、电气设备和真空设备，安捷伦 tv301分子泵维修，另外装有自动化技术的离子注入终点站检验和---设备。离子注入运用工作状况繁杂，清理能力差，充进高纯气体类型多种多样，因而必须---解决的干泵和磁悬浮分子泵。安捷伦 tv301分子泵维修
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离子注入机器设备
离子注入机器设备：离子注入就是指在真空下，当电子束射向固态原材料时，遭受固态原材料的抵御而速率渐渐地降低出来，并后滞留在固态原材料中的状况。离子注入是半导体材料表层周边地区开展夹杂的关键技术性，其目地是更改半导体材料的载流子浓度值和导电性种类。离子注入机是集成电路芯片生产制造工艺流程中的主要设备，必须高清理的真空，以---正离子夹杂浓度值和使用量的性。安捷伦 tv301分子泵维修
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分子泵与骨架密封式旋片泵和涡轮增压器式干泵比照，工作环境清除，而且可以---十分高的真空泵值。但是，分子泵不能在---压强下工作上，尽量和其他能够 在---压强下工作上的粗抽真空泵(骨架密封式旋片泵或涡轮增压器式干泵)协作运用。分子泵构造复杂、价钱较为贵，高速运行工作上情况下有振动。安捷伦 tv301分子泵维修
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分子泵的抽气机理与机械泵靠泵腔容积变化进行真空包装的基本原理不一样，应用了角动量传输基本概念，使分子式定项流通性而被排出去泵外，从而---真空包装的目的。安捷伦 tv301分子泵维修
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分子泵的抽气机理与机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同，利用了动量传递原理，使分子定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。 分子泵在电机的带动下高速旋转，采用变频电源驱动电机，目的是得到较高的转速。
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分子泵是一种真空泵，它使用高速旋转的转子将动量传递到气体分子以获得方向速度，从而将其压缩并驱动到上一级的排气口。
维护分子泵的操作要求：
1.分子泵的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上，以防止松弛引起的空气泄漏；
2.分子泵不能在---中打开，必须在达到10pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵；
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