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分子泵在半导体机械设备中的运用
在半导体材料生产加工加工工艺中,分子泵广泛运用于光刻技术、塑料薄膜堆积机器设备、离子注入机器设备、离子注入机等主要设备。安捷伦分子泵
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光刻技术是生产制造规模性集成电路芯片的关键机器设备,生产制造和维护保养必须高宽比的电子光学和电子工业基本,全仅有数生产厂家把握,因而光刻机价格价格昂贵。光刻技术光刻技术全过程务必在高真空中完成,缘故是极紫外线很娇气,安捷伦分子泵维修厂家,在空气中非常容易耗损。另外,在光刻技术全过程中,机器设备的姿势时间误差以皮秒激光计,这对磁悬浮分子泵的震动值规定---。(注:皮秒激光=兆分之一秒)安捷伦分子泵
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分子泵启动的条件:
、启动条件:连接无误、无漏、冷却、润滑、真空度
、启动时间:
同时启动——小系统,防前级泵油上返。
---启动——系统容积过大,先启动前级泵,至系统压强p=200pa时,启动分子泵。
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传动胶带不用时,应把胶带拆下,用温水清洗擦干后保存在没有阳光直接照射的地方,安捷伦分子泵维修联系方式,也不要存放在有油污、腐蚀物及烟雾的地方。无论在何种情况下,安捷伦分子泵厂家,都不要使胶带沾上机油、柴油或等油类物质,不要对胶带涂松香和其他粘性的物质。胶带在使用前,须清除胶带接触面的。
把所有螺钉、螺栓用钢丝刷刷洗干净,并涂上机油或浸在柴油中保存。
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叶轮锁母越紧越好。机械密封泄漏中,轴套与轴之间的泄漏(轴间泄漏)是比较常见的。一般认为,轴间泄漏就是叶轮锁母没锁紧,其实导致轴间泄漏的因素较多,如轴间垫失效,偏移,轴间内有杂质,轴与轴套配合处有较大的形位误差,接触面破坏,轴上各部件间有间隙,轴头螺纹过长等都会导致轴间泄漏。
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分子泵叶片破碎的原因:
是异物掉入;没有安装过滤网使肯定不行的,另外掉进去的东西不一定要多大,深圳安捷伦分子泵,但如果硬度够了一样会造成伤害,轻则造成叶片边缘被打成锯齿状,重则打碎叶片。所以现在的设备商在安装分子泵的时候会尽量改为侧面90度或倒立安装,避免异物掉入。
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