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分子泵在半导体机械设备中的运用
在半导体材料生产加工加工工艺中,分子泵广泛运用于光刻技术、塑料薄膜堆积机器设备、离子注入机器设备、离子注入机等主要设备。varian分子泵维修
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光刻技术是生产制造规模性集成电路芯片的关键机器设备,生产制造和维护保养必须高宽比的电子光学和电子工业基本,全仅有数生产厂家把握,因而光刻机价格价格昂贵。光刻技术光刻技术全过程务必在高真空中完成,缘故是极紫外线很娇气,在空气中非常容易耗损。另外,在光刻技术全过程中,机器设备的姿势时间误差以皮秒激光计,这对磁悬浮分子泵的震动值规定---。(注:皮秒激光=兆分之一秒)varian分子泵维修
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分子泵应用常见问题:
1、分子泵运行以前请确定分子泵安裝妥当,电缆恰当联接并确定处在卡紧情况。
2、分子泵在接电源后及一切正常运行时旋转工件是由磁场力支撑点飘浮的,请尽.量不必碰触泵壳及控制板,非常是电缆,肯定不可以碰触。
3、当终止分子泵,请先得出关机命令(stop),待分子泵降速完毕,rotation显示灯灭掉(液晶显示器上显示信息stop,及转速比显示信息为0%),确定分子泵早已---终止,才能够断电。如必须拆装线缆,在如上述情况一切正常关机并关闭开关电源后,才能够拆下来线缆,varian分子泵维修中心,分子泵在一切正常运行时肯定不可以拔下电缆线电源插头。varian分子泵维修
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当碰到出现意外关闭电源时,分子泵会产生警报(powerfailure),这时分子泵会自发电量以保持內部旋转工件维持飘浮情况,varian分子泵修理中心,另外降速运作(brake),在降速到一定转速比时,自发电量终止,旋转工件坠落(toughdown),由维护滚动轴承支撑点再次转动降速直到---终止。在分子泵旋转工件掉到维护滚动轴承时,分子泵会传出较为大的响声,这类状况是一切正常的。碰到出现意外关闭电源时,请想方设法尽快地恢复供电系统,广东varian分子泵维修,如能在五分钟以内修复供电系统,则不容易产生toughdown,转动感受修复飘浮情况,重启还可以开展。varian分子泵维修
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分子泵启动的条件:
、启动条件:连接无误、无漏、冷却、润滑、真空度
、启动时间:
同时启动——小系统,防前级泵油上返。
---启动——系统容积过大,先启动前级泵,至系统压强p=200pa时,启动分子泵。
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传动胶带不用时,应把胶带拆下,用温水清洗擦干后保存在没有阳光直接照射的地方,也不要存放在有油污、腐蚀物及烟雾的地方。无论在何种情况下,varian分子泵修理销售,都不要使胶带沾上机油、柴油或等油类物质,不要对胶带涂松香和其他粘性的物质。胶带在使用前,须清除胶带接触面的。
把所有螺钉、螺栓用钢丝刷刷洗干净,并涂上机油或浸在柴油中保存。
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