肇庆agilent tv301分子泵-广州帕纳公司

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离子注入机器设备

离子注入是用有机化学或物理方法有选择从硅单晶表层除去不用原材料的全过程。离子注入的基础总体目标是在点胶的硅单晶上恰当地拷贝掩膜图型。智能化的干法刻蚀机器设备包含繁杂的机械设备、电气设备和真空设备，另外装有自动化技术的离子注入终点站检验和---设备。离子注入运用工作状况繁杂，清理能力差，充进高纯气体类型多种多样，因而必须---解决的干泵和磁悬浮分子泵。agilent tv301分子泵

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离子注入机器设备

离子注入机器设备：离子注入就是指在真空下，当电子束射向固态原材料时，遭受固态原材料的抵御而速率渐渐地降低出来，并后滞留在固态原材料中的状况。离子注入是半导体材料表层周边地区开展夹杂的关键技术性，其目地是更改半导体材料的载流子浓度值和导电性种类。离子注入机是集成电路芯片生产制造工艺流程中的主要设备，agilent tv301分子泵，必须高清理的真空，以---正离子夹杂浓度值和使用量的性。agilent tv301分子泵

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1分子泵振动，可直接接于被抽系统。

　　对于高精密仪器的应用（如电子显微镜），建议使用隔振器，以便可能的减少振动。

　　2冲击防护：高速旋转、间隙很小、柔性支撑

　　机械振动（预抽泵、前级泵、机械动作等）

　　气体振动（气量突变、压强突变）

　　意外振动（掉入异物、碰撞等）

　　注意：没有对泵进行---防护，容易造成分子泵---的破坏、甚至碎泵。

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润滑脂充填量随外壳的结构和容积而有所不同，一般充填至容积的1/3－1/2为宜。充填量过多时，润滑脂因搅拌---发生变质，老化和软化。水泵机组和管路在使用一段时期后，应做好水泵保养工作放尽水泵和管路内的剩水。如拆卸方便，可将水泵和管路拆下来，并清理干净。