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当m2（框架2）或m7的真空度自始至终沒有及时时，请查验旋片泵的继电器是不是一切正常工作中；开启分子泵以前，务必先开启冷却循环水阀。分子泵的离心叶轮终止后，磁悬浮分子泵维修安装，务必关掉冷却循环水阀。磁悬浮分子泵维修

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每一次关机后，务必清理每一个分子泵的通道，以维持其清理，以防止多余的毁坏；当出---警示信息内容“ef”时，查验冷却循环水安全通道是不是通畅，并且用重---开展查验。在再度开启分子泵以前，请--- 水道通畅。当出---别的报警系统时，珠海磁悬浮分子泵维修，禁止再度起动分子泵开展后处理工艺。磁悬浮分子泵维修

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这种状况一定要加滚动轴承吹扫

分子泵所抽的汽体假如带有较多的可凝气体（如水蒸气，溶剂等），磁悬浮分子泵维修，浓度较高的的co2、腐蚀汽体，或是等，必须加配吹扫阀（purgevalve），工作中全过程中运用吹扫气（一般为干躁n2）不断对滚动轴承开展吹扫，以做到防护空气污染物，维护滚动轴承的目地。磁悬浮分子泵维修

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为了---地降低滚动轴承因长期性储放而导致的---不匀称，安捷伦的分子泵控制板内嵌了“软起动”作用。如历经运送或是停泵的時间超出2个月，能够应用软起动作用起动分子泵，转速比以台阶方法迟缓加快，促使轴承润滑脂在低速档环节有充足時间再次分布均匀。假如储放時间超出10个月，---送到维修站，让分子泵在---型的检测系统上依照明确程序流程加快，磨合期滚动轴承。磁悬浮分子泵维修